コーティングされたガラスキャリアステージ 150mm 直径 6mm 厚さの光学コーティング表面
| 直径 | 150mm | 厚さ | 6mm |
|---|---|---|---|
| 表面処理 | 光学コーティング | コーティング品質 | 均一で強力な接着力 |
| 基板 | 平坦性が高く、気泡が入らない | 材料 | 光学級のガラス |
| ハイライト | コーティングされたガラスのキャリアステージ 150mm,半導体・ウェーファー・キャリアステージ,オプティカルコーティング真空装置 |
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コーティングガラスキャリアステージは、直径150mm、厚さ6mmの精密光学プラットフォームで、表面に光学コーティング処理が施されています。高平面度、気泡なしのガラス基板上に構築されたこのステージは、要求の厳しい光学および半導体用途で安定した光透過率と反射性能を提供します。コーティング層は均一で密着性が高く、繰り返し取り扱いや高温での動作下でも信頼性の高い性能を発揮します。精密な機械加工公差と傷のない表面設計により、キャリアステージはロード、輸送、加工中にワークピースを保護し、ウェーハ搬送、光学検査、真空コーティング治具に理想的なプラットフォームとなります。
仕様| パラメータ | 仕様 |
|---|---|
| 直径 | 150mm |
| 厚さ | 6mm |
| 表面処理 | 光学コーティング |
| コーティング品質 | 均一、高密着性 |
| 基板 | 高平面度、気泡なし |
| 材質 | 光学グレードガラス |
| 用途 | ウェーハキャリア、光学検査、真空コーティング |
- 均一で高密着性のコーティング: 光学コーティングは均一に塗布され、基板にしっかりと接着され、表面全体で一貫した光学挙動を保証します。
- 高平面度気泡なし基板: 精密基板は、測定と取り扱いを安定させるための平坦で欠陥のないベースを提供します。
- 安定した光透過率と反射: コーティングされた表面は再現性のある光学性能を提供し、正確な検査と測定をサポートします。
- 耐摩耗性・耐腐食性: 耐久性のある表面は、性能を低下させることなく洗浄剤や機械的接触に耐えます。
- 制御可能なコーティング精度: コーティングの厚さと均一性は、特定の光学およびアプリケーション要件を満たすために精密に制御されます。
コーティングガラスキャリアステージは、安定したコーティングされたプラットフォームを必要とする半導体、光学、真空処理システム向けに設計されています。半導体ウェーハキャリアとして広く使用されており、検査および処理中にウェーハをしっかりとサポートする平坦で清潔な表面を提供します。計測および品質管理では、このステージは光学検査プラットフォームとして機能し、信頼性の高い測定のために一貫した透過率と反射特性を提供します。このコンポーネントは、薄膜堆積中に基板やワークピースを所定の位置に保持する真空コーティング治具としても採用されています。さらに、このステージは光学部品用の吸引キャリアとしても機能し、その平坦なコーティング表面により、繊細な部品を傷つけることなく安定した真空チャッキングが可能になります。
利点- 制御可能なコーティング精度: 各アプリケーションに正確な光学性能を提供するために、コーティングパラメータが調整されています。
- 厳密な機械加工公差: 直径、厚さ、平面度は、信頼性の高い適合とアライメントのために狭い範囲で制御されています。
- 高温での剥がれにくいコーティング: コーティングは、高温動作条件下でも強い密着性を維持します。
- ワークピースへの傷なし: 滑らかで仕上げられた表面は、取り扱い中にウェーハや光学部品を損傷から保護します。

