厚く 9 インチ ワッファー カリブレーション クォーツ ガラスプレート 高温
| サイズ | 9 インチ (標準ウェーハ寸法に一致) | 厚さ | カスタマイズされた厚みのあるデザイン |
|---|---|---|---|
| 材料 | 高透過率溶融石英・無アルカリホウケイ酸ガラス(オプション) | 表面仕上げ | 両面超精密光学研磨 |
| 平面度と平行度 | 光学基準グレード | エッジ処理 | 精密な面取りが施されており、欠けがありません |
| ハイライト | 高温 厚いクォーツガラスプレート,9インチクォーツガラスプレート,ワッファー カリブレーション クォーツガラスシート |
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9インチ厚のウェーファー校正ガラスプレートは,半導体ウェーファー寸法,外観,平坦性検査のために設計された精密光学参照基板です.高透力性のある溶融シリカまたはアルカリのないボロシリケートガラスから製造この校正プレートは,標準の9インチワッフル寸法に一致し,繰り返し検査サイクル中に曲がりや歪みに抵抗するカスタマイズされた厚い構造を提供します.双面の超精密に磨かれた表面は 光学的な平らさと並行性を提供します自動化光学検査システムに安定した幾何学的基準線を提供する.プレートは,測定データが長時間生産回間にわたって一貫して繰り返されるようにします.晶状晶状の製造,リトグラフィーの調整,光学画像測定の用途にとって不可欠なツールとなっています.
仕様| パラメータ | 仕様 |
|---|---|
| サイズ | 9インチ,標準のウエファーサイズに一致する |
| 厚さ | パーソナライズされた厚み設計 |
| 材料 | 高透力溶融シリカ/アルカリのないボロシリカートガラス (オプション) |
| 表面塗装 | 双面超精密光学磨き |
| 平らさと並列性 | 光学基準級 |
| エッジ 処理 | 精密にカムフラージングされ,切片なし |
| 適用する | ワッフルの寸法,外観,平らさを検査する |
- 硬さのために厚くした構造:強化プレートは,検査中に歪みや変形を避け,安定して繰り返す校正データを提供します.
- 双面超精密光学磨き:表面は傷や穴,泡や石から自由で,光学的な平らさと平行性があります.
- 紫外線から可視光への均一な高伝導性高純度な基板は散乱光の干渉を最小限に抑え,AOI自動光学検査機器と完全に互換性がある.
- 低熱膨張係数:温度変化による最小限の変形により,基準幾何学が安定し,材料は酸や塩基の清掃溶液に耐える.
- 精密でカムフレドされた縁:切断のない縁は,操作や積載中にクレーンと検査レンズを傷害から保護します.
9インチ厚のウェーファー校正グラスプレートは,半導体製造および検査環境における汎用的な光学基準として機能する.広く9インチシリコンウエファー寸法校正に使用されています測定器具の精度を検証する信頼できる幾何学的基準を提供する.光学レベルの表面は,表面の均一性を比較し,偏差を検出するための信頼できる基準線として機能します.このプレートは,光学画像測定器具の標準的キャリアとしても機能し,次元分析中に一貫した位置付けをサポートします.正確なパターン登録を維持するのに役立ちますさらに,このプレートは,オートマチックな欠陥検出システムのための平坦で安定した汚染のないプラットフォームを提供するために,ウェーファー表面の欠陥検査のための固定ベースとして採用されています.
利点- 折りたたみ防止型厚いプレート:強化された構造は,長期間の質量検査中に基準の偏移を防止し,調整結果が順番に確実に保たれる.
- 高純度で降水のない材料:清潔な基板は汚染物質を放出せず,接触検査中に汚染からワッフルを保護します.
- 完全カスタマイズ可能:厚さ,光学コーティング,アライナメントスケールマーク,スロットリング,掘削はすべて顧客の要求に合わせることができます.
- 高度な単品一貫性厳格な製造制御により,同じ性能の複数の検査機で交換可能になります.

