つや消し表面カスタムサイズの高純度耐腐食石英陰極
| 材料 | 高純度クォーツ | 寸法 | 95mm×91mm×44.5mm |
|---|---|---|---|
| 表面 | つや消し(片面/両面) | 温度範囲 | 200℃~1100℃ |
| ハイライト | 凍った表面クォーツカソード,高純度クォーツカソード,防腐石英カソード |
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製品名:高純度すりガラス石英カソード、高温・耐腐食性
寸法:95mm*91mm*44.5mm
高純度石英を一体加工し、片面/両面を微細にすりガラス加工しています。高温耐性、強力な耐腐食性、金属析出ゼロ、優れた絶縁性、均一な拡散光透過性を特徴としています。コーティング、真空スパッタリング、電気化学、実験室プラズマ、半導体光電子プロセスで広く使用されています:
実験室化学および電気化学
プラズマ反応チャンバー用カソードフィッティング:真空プラズマクリーニングおよびイオンエッチング装置内の絶縁カソードベース。すりガラス表面はプラズマビームを均一に分散させ、反応均一性を向上させます。
腐食性電気化学試験用キャリア:酸、アルカリ、フッ素含有電解質を用いた電気分解実験用の絶縁サポート。金属電極からの不純物を隔離し、電解質汚染を防ぎます。
半導体およびPVマイクロエレクトロニクス(コアアプリケーション)
スパッタリングおよびPVDコーティング用石英カソードサポート:金属ターゲットおよびウェーハ基板をサポートします。すりガラス表面は局所的なアーク放電を弱め、コーティング均一性を安定させます。高純度材料は金属イオン析出や膜欠陥を回避します。
光電子チップおよび薄膜デバイス製造用真空チャンバー内の絶縁カソード部品。超清浄電子製造基準に適合します。
新素材および薄膜ファインケミカル
機能膜およびナノコーティング堆積用カソードサポート治具。高温真空条件下で変形せず、汚染しません。
リチウム電池導電膜および触媒膜製造用プラズマ反応タンクの絶縁ベース。前駆体からの腐食性蒸気に耐性があります。
真空光電子特殊試験条件
UVプラズマ光源と組み合わせたカソードベース。すりガラス石英はUV光を均一に拡散させ、光出力を安定させます。
真空下で200〜1100℃での連続運転が可能。高温イオン活性化および高温蒸着プロセスに適しています。
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