すべての製品
高純度の溶融石英石英ボートの注文のガラス部品は半導体アニーリング皿のために一体的に形成します
商品の詳細
| 材料 | 高純度溶融シリカ (SiO2 > 99.99%) | 形成プロセス | 一体型熱間成形 |
|---|---|---|---|
| 最大動作温度 | ワークステーション、ラップトップ、デスクトップ | 耐薬品性 | HF、強酸・強アルカリ、有機溶剤 |
| 熱膨張 | CTE 5.5 x 10^-7 /°C (低) | 表面仕上げ | 細かく磨かれた滑らかなエッジ |
| 純度 | 金属イオンの析出なし | 応用 | 管状炉焼結、半導体アニーリング、ラボアッシング、新材料研究開発 |
| ハイライト | 高純度石英ボート、一体形成石英ボート、半導体アニーリング トレイ用石英ボート,Integral Forming Quartz Boat,Quartz Boat For Semiconductor Annealing Tray |
||
製品の説明
製品概要
について高純度溶融シリカクォーツボート精密な高温キャリアで,チューブオーブンのシンタリング,半導体加工,実験室熱用用途のために設計されています.均質な壁厚さと細工された表面を整形熱型で作る1100°Cまで熱安定性があり,フッ素酸と濃縮腐食剤に対する優れた化学耐性があります汚染のない加工を最も厳しい産業環境や研究環境で確保する.
主要 な 特徴
- 整合式熱形成:一 片 の 構造 に よっ て 壁 の 厚さ が 均一 で,構造 の 整合性 が 確保 さ れ,弱い 結び目 や 縫い目 が なくなる
- 1100°C 高温耐性管炉での高温での長時間の動作下で,寸法安定性と機械的強さを維持する
- HFと強い化学抵抗性水素フッ素酸,濃縮酸,強いアルカリ,有機溶媒に対する優れた化学耐久性
- 熱ショックに対する安定性低熱膨張系数 (CTE 5.5 x 10^-7/°C) は,急速な加熱冷却サイクルにおいて裂けることを防止する
- 純度ゼロ 降水量:SiO2 > 99.99% 純度で金属イオン溶解が防ぎられ,ウエフとサンプルが保たれる
- 精密仕上げ:表面は標準化された寸法,滑らかな縁,安全なサンプル処理のために切断されていない.
申請
| 産業 | 適用する |
|---|---|
| チューブオーブンのシンタリング | パウダー,ウエフラー,セラミック基板の高温火焼のための輸送器,制御大気管炉 |
| 半導体加工 | 超清潔で汚染のない条件を保証する高温前処理トレイ |
| 実験室検査 | 分析化学と材料の特徴付けのための灰化実験と腐食性浸透サンプル容器 |
| 新しい材料の研究開発 | 先進的な材料開発のための粉末合成と前駆物熱処理容器 |
競争上の利点
ボロシリケートガラスボート:ボロシリケートガラスは,水素フッ素酸に耐えられず,高温で柔らかくなります.このクォーツボートは,強い腐食に抵抗し,変形や裂け目なしに繰り返し1100°C熱循環を通して機械的整合性を維持します
アルミナ/セラミックボート:優れた熱ショック耐性は,迅速な加熱冷却を可能にします.透明な壁は,視覚的なプロセス監視を可能にします.金属不純度ゼロは,ウェーファーとサンプル汚染リスクを排除します.
仕様
| パラメータ | 価値 |
|---|---|
| 材料 | 高純度溶融シリコン (SiO2 > 99.99%) |
| 形成 プロセス | インテグレート・ホット・フォーミング |
| 最大動作温度 | 1100°C |
| 化学 耐性 | HF,強い酸とアルカリ,有機溶媒 |
| 熱膨張 | CTE 5.5 x 10^-7 /°C (低い) |
| 表面塗装 | 細かく 磨き 滑らか な 縁 |
| 純度 | 金属イオン降水がない |
推薦されたプロダクト
