精密孔付きクォーツプレート 高純度溶融シリカ 管炉真空コーティングのための二面地
| 材料 | 高純度溶融シリカ | 表面 | 両面ファイングラウンド |
|---|---|---|---|
| 穴の質 | 精密で均一、きれいなエッジ、欠けなし | 耐熱性 | 1100°Cまで |
| 耐薬品性 | HFおよび強酸/アルカリ耐性 | 純度 | 高純度、不純物の析出なし |
| ハイライト | 精密穴あき石英板、両面研磨石英板、穴あき高純度溶融石英板,Double Side Ground Quartz plate,perforated High purity fused silica plate |
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精密穴あき石英板高純度溶融石英
この精密穴あき石英プレートは、両面精密研磨された高純度溶融シリカから製造されています。きれいなエッジと欠けのない正確に均一な穴が特徴で、1100°C の耐熱性と優れた HF および強酸/アルカリ化学的耐久性を実現します。管状炉のガス拡散バッフル、真空コーティングのワーク固定具、半導体焼結キャリア、化学実験室のフィルター プレートに最適です。
製品パラメータ
| パラメータ | 仕様 |
|---|---|
| 材料 | 高純度溶融シリカ |
| 表面仕上げ | 両面ファイングラウンド |
| 穴の品質 | 精密な穴あけ加工、均一なパターン、きれいなエッジ |
| エッジ品質 | 欠けなし、バリなし |
| 温度耐性 | 1100℃まで |
| 耐薬品性 | HFおよび強酸/アルカリ耐性 |
| 熱膨張 | 低膨張、熱衝撃耐性 |
| 純度 | 高純度、不純物の析出なし |
主な特長
- 精密な穴あき– きれいなエッジと欠けのない均一な穴パターンにより、安定したガス流量と信頼性の高い機械的性能が保証されます。
- 両面ファイングラウンド– 両面を精密研削して優れた平坦性と均一な厚さを実現し、安定したワークピースのサポートとガス分布を確保します。
- 1100℃の耐熱性– 管状炉や焼結用途での持続的な高温操作下でも、構造の完全性と寸法安定性を維持します。
- HFおよび強い耐薬品性– ホウケイ酸ガラスよりも優れており、化学処理用途のフッ化水素酸および濃酸/アルカリに耐えます。
- 高純度、汚染なし– 不純物沈殿ゼロの 99.99% 純度の溶融シリカにより、半導体および高純度プロセスにおけるサンプルの汚染を防ぎます。
アプリケーション
1. 管状炉ガスバッフル
均一な熱処理を実現するために、管状炉環境内の保護ガス流量分布のバランスを保ちながら、粉末材料をサポートするガス透過性セパレータ プレート。
2. 真空塗装治具
真空薄膜蒸着中にプロセスガスを循環できる貫通穴付きのワークピース位置決めキャリアで、均一なコーティング範囲を確保します。
3. 半導体焼結用キャリア
半導体材料焼結用のガス透過性サポートプレート。高温処理中に不純物のガス放出と均一な雰囲気への曝露を可能にします。
4. 化学実験室フィルタープレート
攻撃的な試薬を含む化学実験室用途向けの耐食性フィルター セパレーターと反応ガス透過性サポート プレート。
ホウケイ酸ガラスと比べた利点
HF の影響を受けて高温で軟化するホウケイ酸ガラスの多孔板とは異なり、この溶融シリカ板は、完全な HF 耐性、1100°C での動作の持続、亀裂のない優れた耐熱衝撃性、汚染ゼロの高純度を備えており、要求の厳しい高温、腐食性、高純度の用途に最適です。

