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標準寸法の石英ガラス シート 9 インチ ウェーハのための超高い平坦度
| 起源の場所 | 中国 |
|---|---|
| モデル番号 | QGS-9IN-WC |
| 価格 | negotiable |
| 支払条件 | T/T、L/C、PayPal、ウエスタンユニオン |
商品の詳細
| 材料 | クォーツガラス | 対応ウェーハサイズ | 9インチ |
|---|---|---|---|
| 平面度 | 超高精度 | 許容範囲 | 堅い次元の許容 |
| 表面仕上げ | 精密研磨 | ストレスレベル | 低い内部応力 |
| 応用 | 半導体ウェーハキャリブレーション、リソグラフィー、プローバー、光学機器 | ||
| ハイライト | 標準寸法クォーツガラスシート 超高平面度クォーツガラスシート 9インチ・ウェーファー クォーツガラスプレート,Ultra High Flatness Quartz Glass Sheet,9 Inch Wafer Quartz Glass Plate |
||
製品の説明
9インチ・ウェーファー・カリブレーション 超高平面度のクォーツガラスシート
この9インチのクォーツガラスシートは 高精度半導体装置の標準の 校正ですこれはリトグラフィーの日常機器の検証のための標準的な9インチウエファー仕様に対応しています探査機,AOI検査,光学計測のアプリケーション
製品パラメータ
| パラメータ | 仕様 |
|---|---|
| 材料 | クォーツガラス |
| 互換性のあるウエーファーサイズ | 9インチ |
| 平らさ | 超高精度 |
| 次元容量 | 狭い寛容 |
| 表面塗装 | 精密 磨き |
| オプティカルプロパティ | 均一 で ストレス が 少なく |
| 熱安定性 | 最小熱変形 |
| 化学 耐性 | 定期的な化学洗浄に耐える |
| 次元安定性 | 長期にわたる繰り返し使用に安定 |
主要 な 特徴
- 超高平面度半導体機器の信頼性の高い校正結果を保証する非常に緊密な平坦性許容度を持つ精密に磨かれた表面.
- 均一な光学特性プレート表面全体に一貫した光学伝達が可能で,AOIと視力ベースの検査システムの校正に最適です.
- 内面 の ストレスの 低さ熱変形やストレスの誘発による歪みが最小限で,様々な環境条件下で次元安定性を維持する.
- 化学浄化耐性標準的な半導体洗浄剤に耐性があり,繰り返し洗浄サイクルを経て表面の質を維持します.
- 長期 安定性時間をかけて精度が低下することなく,繰り返し日常使用のために設計された専用校正規格
申請
1半導体ウエファー検査
9インチワッフル寸法,平らさ,ワップ検査のためのメイン参照プレート.ワッフルAOI光学検査機器の毎日の校正基準として使用されます.生産ラインの検出精度を統一する.
2リトグラフィー&パッケージングプロセス
リトグラフィー 機械とダイ・ブレンド用のアライナメント基準. 機器のレンズ焦点とプラットフォーム位置位置の精度を定期的に校正することで,生産の欠陥が減少し,出力の一貫性が向上します.
3試験装置
試験ステーションの座標校正とプラットフォームの平坦性検証のための基準プレートで,半導体製造における精密なウエファー電気試験精度を保証する.
4オプティカル・ラボ・キャリブレーション
視力計測機とコンートメーター用の標準の校正ガラス,計測実験室で儀器の精度を日常的に検証するために使用される.
普通のガラスと普通のクォーツシートよりも利点
普通のガラスプレートや普通のクォーツシートとは異なり,この校正グレードのクォーツシートは,厳格に制御された平坦性許容度を持つ精密に磨かれた表面を持っています.繰り返し化学洗浄後も安定した精度を維持し,専用洗浄機となる.半導体生産環境のために特別に設計された業界標準の校正部品.
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