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5 穴 127x127x3mm 5 インチ半導体ウェーハ装置校正用石英ガラス板
| 起源の場所 | 中国 |
|---|---|
| モデル番号 | QGP-5H-127 |
| 価格 | negotiable |
| 支払条件 | T/T、L/C、PayPal、ウエスタンユニオン |
商品の詳細
| 材料 | クォーツガラス | 寸法 | 127mm×127mm×3mm |
|---|---|---|---|
| 穴の数 | 5 | 対応ウェーハサイズ | 5インチ |
| 平面度 | 超高精度 | 穴の公差 | 堅い許容 |
| 表面仕上げ | 両面精密研磨 | 応用 | 半導体ウェーハキャリブレーション、プローバー、AOI、ダイボンダー |
| ハイライト | 127x127x3mm 石英ガラスプレート、5 穴石英ガラスプレート、5 インチウェーハ校正プレート,5 Holes Quartz Glass Plate,5 Inch Wafer Calibration Plate |
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製品の説明
5穴石英ガラスプレート 127x127x3mm 5インチウェーハキャリブレーション用
この5穴石英ガラス校正板は、高精度の半導体装置校正ツールです。 127x127x3mm の寸法と 5 つの精密に加工された位置決め穴を備え、プローバー、AOI、ダイボンダー、および光学計測アプリケーションにわたる日常の機器検証と校正のための標準的な 5 インチウェハー仕様に適合します。
製品パラメータ
| パラメータ | 仕様 |
|---|---|
| 材料 | 石英ガラス |
| 寸法 | 127mm×127mm×3mm |
| 穴の数 | 5 |
| 対応ウェーハサイズ | 5インチ |
| 平面度 | 超高精度 |
| 穴の公差 | 厳しい公差、精密な穴 |
| 表面仕上げ | 両面精密研磨 |
| ストレスレベル | 低ストレス |
| 耐薬品性 | 半導体洗浄耐溶剤性 |
| 寸法安定性 | 長期の再使用でも安定した精度 |
主な特長
- 5つの正確な位置決め穴– 毎日のシリコンウェーハ検証に代わる、機器の座標校正のための厳しい公差を備えた 5 つの位置決め穴。
- 超高平面度– 熱変形を最小限に抑えた両面精密研磨表面により、安定した校正精度を実現します。
- 耐薬品洗浄性– 標準的な半導体洗浄溶剤に対する耐性があり、洗浄サイクルを繰り返した後でも寸法安定性を維持します。
- 光学均一性– 低応力石英ガラスにより、AOI および画像検査システムの均一な光透過が保証されます。
- 長期安定性– 長期間の繰り返し使用でも安定した精度。専用の半導体業界の校正標準として設計されています。
アプリケーション
1. 半導体ウェーハ検査
5インチウェーハの平坦性と寸法検証用のマスターキャリブレーションプレート。 5 つの位置決め穴により、標準的なシリコン ウェーハ チェックポイント ルーチンに代わって、毎日の機器の座標調整が可能になります。レンズの焦点と認識精度の校正用の AOI 光学検査基準プレート。
2. パッケージングとプロービングのプロセス
5 穴レイアウトによるプローブ位置検証およびプラットフォーム平坦度チェック用のプローバー ステーション位置決め基準プレート。ダイボンダーと実装機の位置合わせキャリブレーション、機械的な治具の位置ずれを修正します。
3. 光計測研究室
画像測定機や輪郭検査機の標準校正板で、定期的な機器の測定精度検証に使用されます。
4. 自動生産ライン治具校正
半導体自動装置ツーリングの校正標準であり、生産環境で変形することなく繰り返し洗浄できるように設計されています。
通常のガラスと比べた利点
通常のガラス板とは異なり、表面変形が極めて少ない両面精密研磨を施した石英ガラス製校正板です。 5 穴の同軸度とボア径は、厳しい公差内で厳密に管理されています。半導体標準の洗浄薬品に対する耐性があり、長期間の繰り返し使用でも安定した精度を実現するため、半導体アプリケーションの業界標準の校正部品となっています。
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