溶融したシリカガラスの構造は緩いので,高温でネットワークを通して特定のガスのイオンの拡散が可能で,その中でもナトリウムイオンの拡散は比較的速い.
溶融シリカガラスのこの性質は,ユーザーにとって非常に重要です.例えば,溶融シリカガラスは,半導体産業で高温容器や拡散管として使用される場合,半導体材料は極めて高い純度を求めますだから, the refractory materials used as furnace linings that come into contact with fused silica glass must undergo high-temperature and cleaning treatment in advance to remove alkaline impurities such as potassium and sodium before being placed inside the fused silica glass for use.
室温では,溶融したシリカガラスはガスに浸透しないと考えられる.高温 (例えば700°C) にも,特定のガスの浸透性定数は非常に小さい.したがって,高温と高真空装置に適用できる.